中国计量科学研究院近日宣布,其自主研发的首套高精度圆度基准装置已经成功建成。这一成就标志着我国在精密圆度测量领域取得了重大进展,整体技术实力已达到国际领先水平。
圆度作为几何量形位公差体系中的关键参数,其测量精度对精密主轴、先进光学元件以及半导体芯片等高科技制造产品的性能和装配质量有着直接影响。此前,中国在平面度等几何量计量基准方面已有建立,但一直缺乏国家层面的圆度量值溯源体系,这被视为制约高端装备国产化和产业高质量发展的一个瓶颈。
此次新装置的建成,有效填补了国内在该领域的空白。它将为航空航天、高端机床、先进光学以及半导体制造等重要产业提供高质量、高精度的量值溯源支持,从而完善了国家几何量计量体系,并为建设制造强国和质量强国奠定了基础。
在技术研发方面,该装置融合了多项自主创新技术,成功攻克了高精度圆度评定、主轴误差分离以及滤波一致性控制等国际公认的技术难题。研究团队提出了一种基于高精度圆度滤波和全面数据利用的圆度计算模型,解决了标准半球分离后的轮廓重构稳定性问题。此外,自主研发的新型误差分离技术显著降低了主轴回转误差的影响,将圆度测量的总不确定度从之前的 20 纳米提升至 6 纳米,使得测量能力达到了国际先进水平。这项突破意味着中国在实现高精度圆度测量核心技术方面已实现自主可控,打破了长期存在的国外技术垄断。


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